Alarm系統(tǒng)通過對設備的報警信息進行記錄分析，并根據(jù)設定的Alarm頻率觸發(fā)規(guī)則，Repeat Alarm觸發(fā)Hold Equipment、Hold Lot及操作，同時可通過E-mail/短信等方式及時提醒。Alarm系統(tǒng)還可以監(jiān)控設備報警數(shù)據(jù)，做到提前預警、及時檢修，提高設備利用率；